Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/992046262 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Characterization of multiple frequency driven capacitively coupled plasmas for ferro metallic thin film sputter deposition / Egmont Semmler |
| Person(en) | Semmler, Egmont (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,6 MB |
| Hochschulschrift | Bochum, Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:294-23761 |
| URL | http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SemmlerEgmont/diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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