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Titel Special issue of the conference ‘Smart Sensors, Actuators and MEMS’, within the SPIE EUROPE Symposium ‘MICROTECHNOLOGIES’ Prague, Czech Republic, 18–20 April 2011 / by Ulrich Schmid, Thomas Becker, Bernd Michel
Person(en) Schmid, Ulrich (Verfasser)
Becker, Thomas (Verfasser)
Michel, Bernd (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2019091621503240981468
DOI: 10.1007/s00542-012-1476-2
URL https://doi.org/10.1007/s00542-012-1476-2
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Microsystem technologies (Bd. 18, 25.3.2012, Nr. 7-8, date:8.2012: 833)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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