Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: morgenstern
Treffer 832 von 1556
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1326272012 |
| Titel | Doping process control in silicon epitaxy (I). System identification |
| Person(en) |
Kósza, G. (Verfasser) Morgenstern, T. (Verfasser) Richter, F. (Verfasser) Valkó, P. (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2024041603580421008229 DOI: 10.1002/crat.2170181218 |
| URL | https://doi.org/10.1002/crat.2170181218 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 05.04.2006 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 18, 2006, Nr. 12: 1533-1540. 8 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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