Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: morgenstern
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1325472565 |
Titel | On batch homogeneity in horizontal CVD reactors (II). HCl gas‐phase etching |
Person(en) |
Richter, F. (Verfasser) Morgenstern, Th. (Verfasser) Sperling, R. (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2024040806100109424094 DOI: 10.1002/crat.2170180514 |
URL | https://doi.org/10.1002/crat.2170180514 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 05.04.2006 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 18, 2006, Nr. 5: 641-650. 10 S.) |
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