Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: morgenstern
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1324761660 |
Titel | Temperature profile and homogeneity of the growth rate of CVD Silicon from SiH 4 ‐HCl‐H 2 mixtures |
Person(en) |
Kühne, H. (Verfasser) Morgenstern, Th (Verfasser) Kühne, Ch. (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2024032904420373416891 DOI: 10.1002/crat.2170170907 |
URL | https://doi.org/10.1002/crat.2170170907 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 05.04.2006 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 17, 2006, Nr. 9: 1105-1116. 12 S.) |
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