Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/998960233 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Detailed investigations of the sheath dynamics and elementary processes in capacitively coupled RF plasmas / vorgelegt von: Kristian Dittmann |
| Person(en) | Dittmann, Kristian (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 39,2 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Dittmann, Kristian: Detailed investigations of the sheath dynamics and elementary processes in capacitively coupled RF plasmas |
| Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:9-000693-2 |
| URL |
http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2009/693/pdf/diss_dittmann_kristian.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2009/693/index.html (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Hochfrequenzplasma ; Plasma-Wand-Wechselwirkung ; Plasmadynamik ; Plasmarandschicht ; Kaltes Plasma |
| DDC-Notation | 530.44 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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