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Titel Large area deposition of Pb(Zr,Ti)O3 thin films for piezoelectric MEMS devices / by Gunnar Suchaneck, Vinay S. Vidyarthi, Marianne Reibold, Alexander Deyneka, Lubomir Jastrabik, Gerald Gerlach, Johannes Hartung
Person(en) Suchaneck, Gunnar (Verfasser)
Vidyarthi, Vinay S. (Verfasser)
Reibold, Marianne (Verfasser)
Deyneka, Alexander (Verfasser)
Jastrabik, Lubomir (Verfasser)
Gerlach, Gerald (Verfasser)
Hartung, Johannes (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2019083021343227333911
DOI: 10.1007/s10832-007-9330-0
URL https://doi.org/10.1007/s10832-007-9330-0
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Journal of electroceramics (Bd. 20, 3.10.2007, Nr. 1, date:2.2008: 17-20)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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