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Art des Inhalts Konferenzschrift, 1997, München
Titel Proceedings HLF : semiconductor equipment and materials, contamination control and defect reduction ; Munich, Germany, November 11 - 12, 1997 / Productronica 97. Ed. by Heiner Ryssel ...
Person(en) Ryssel, Heiner (Herausgeber)
Organisation(en) Productronica (1997 : München) (Herausgebendes Organ)
Verlag Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1998
Umfang/Format 223 S. : zahlr. Ill. und graph. Darst. ; 21 cm
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Literaturangaben
Schlagwörter Halbleitertechnologie ; Fertigungsfehler ; Prozessoptimierung ; Kongress ; München <1997>
Halbleitertechnologie ; Kontamination ; Prozessoptimierung ; Kongress ; München <1997>
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 1998 A 31103
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1998 A 31103
Bereitstellung in Leipzig




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