Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1166509257 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik / Marco Feldmann |
| Person(en) | Feldmann, Marco (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 226 Seiten : 153 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Feldmann, Marco: Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018090905571941285757 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-6146-7 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 20 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter |
LIGA-Verfahren ; Photoresist ; Ultraviolett Mikroaktor ; Herstellung ; LIGA-Verfahren Mikrosensor ; Herstellung ; LIGA-Verfahren Mikrofluidik ; Gerätebau ; LIGA-Verfahren |
| DDC-Notation | 681 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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