Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=620.1*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1076404154 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns / Stephan Barth |
| Person(en) | Barth, Stephan (Verfasser) |
| Organisation(en) | TUDpress Verlag der Wissenschaften Dresden GmbH (Verlag) |
| Verlag | Dresden : TUDpress |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2015 |
| Umfang/Format | 103 S. : Ill., graph. Darst. ; 23 cm, 220 g |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2015 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-95908-013-2 kart. : EUR 30.90 (AT), EUR 29.99 (DE) 3-95908-013-1 |
| EAN | 9783959080132 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Dresdner Beiträge zur Sensorik ; Bd. 56 |
| Schlagwörter |
Aluminiumnitrid ; Magnetronsputtern ; Reaktives Sputtern ; Dünne Schicht ; Mechanische Spannung ; Schichtdicke Aluminiumnitrid ; Magnetronsputtern ; Reaktives Sputtern ; Dotierung ; Dünne Schicht ; Piezoelektrizität |
| DDC-Notation | 620.14042 [DDC22ger]; 667.9 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 660 Technische Chemie |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2015 A 64879
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2015 A 88347
Bereitstellung in Leipzig |
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