Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=671*
Treffer 887 von 1045
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985390689 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma-CVD-Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe / von Patrick Kuhn |
| Person(en) | Kuhn, Patrick (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 4,4 MB |
| Hochschulschrift | Saarbrücken, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-12529 |
| URL |
http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2007/1252/pdf/Dissertation_Patrick_Kuhn_2007.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2007/1252/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | PECVD-Verfahren ; Titannitrid ; Beschichten ; Titandioxid |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
Treffer 887 von 1045
Administration
