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Titel Laser cleaning of silicon wafers : mechanisms and efficiencies / Mario Mosbacher ; Micha Bertsch ; Hans-Joachim Münzer ; Volker Dobler ; Bernd-Uwe Runge ; Dieter Bäuerle ; Johannes Boneberg ; Paul Leiderer
Person(en) Mosbacher, Mario (Mitwirkender)
Bertsch, Micha (Mitwirkender)
Münzer, Hans-Joachim (Mitwirkender)
Dobler, Volker (Mitwirkender)
Runge, Bernd-Uwe (Mitwirkender)
Bäuerle, Dieter (Mitwirkender)
Boneberg, Johannes (Mitwirkender)
Leiderer, Paul (Mitwirkender)
Verlag Konstanz : Bibliothek der Universität Konstanz
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:352-opus-28300
URL http://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/9202 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Proc of SPIE ; 4426 (2002). - S. 308-314
Sachgruppe(n) 530 Physik

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