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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1243429623
Titel Epitaxial growth of highly textured ZnO thin films on Si using an AlN buffer layer by atomic layer deposition
Person(en) Kolhep, Maximilian (Verfasser)
Sun, Cheng (Verfasser)
Bläsing, Jürgen (Verfasser)
Christian, Björn P. (Verfasser)
Zacharias, Margit (Verfasser)
Verlag Freiburg : Universität
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource (zip)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-1940108
DOI: 10.1116/6.0000793
URL https://freidok.uni-freiburg.de/data/194010 (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films. - 39, 3 (2021) , 032401, ISSN: 1520-8559
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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