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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1302972847
Titel A New Reactive Atom Plasma Technology (RAPT) for Precision Machining: the Etching of ULE® Surfaces
Person(en) Fanara, C. (Verfasser)
Shore, P. (Verfasser)
Nicholls, J.R. (Verfasser)
Lyford, N. (Verfasser)
Kelley, J. (Verfasser)
Carr, J. (Verfasser)
Sommer, P. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023092007313647275875
DOI: 10.1002/adem.200600028
URL https://doi.org/10.1002/adem.200600028
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 24.10.2006
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced engineering materials (Bd. 8, 2006, Nr. 10: 933-939. 7 S.)

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