Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1018728481 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Serielles Co-Sputtern : Entwicklung einer flexiblen Beschichtungstechnologie und deren Charakterisierung am Beispiel der Ratenerhöhung von Metalloxiden durch Co-Dotierung / vorgelegt von Michael Austgen |
| Person(en) | Austgen, Michael (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | 176, XXI S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Austgen, Michael: Serielles Co-Sputtern |
| Hochschulschrift | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Reaktives Sputtern |
| DDC-Notation | 530.417 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 B 1523 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 B 19406 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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