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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Liquid delivery metalorganic chemical vapor deposition of silver, iridium and ruthenium thin films / von Tetyana Hurʹyeva
Person(en) Hurʹyeva, Tetyana (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 2,2 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Hurʹyeva, Tetyana: Liquid delivery metalorganic chemical vapor deposition of silver, iridium and ruthenium thin films
Hochschulschrift Magdeburg, Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201010181749
URL http://diglib.uni-magdeburg.de/Dissertationen/2007/tethuryeva.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://diglib.uni-magdeburg.de/Dissertationen/2007/tethuryeva.htm (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]; 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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