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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Technologischer Einsatz von Jodwasserstoff-Plasmen für die Polysilicium-Gate-Strukturierung in einer Sub-Quarter-Micron-Technologie / von Massud-Abubaker Aminpur
Person(en) Aminpur, Massud-Abubaker (Verfasser)
Verlag Berlin : Logos-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2000
Umfang/Format 81 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1999
ISBN/Einband/Preis 978-3-89722-350-9 kart. : DM 79.00, sfr 71.90, S 576.70
3-89722-350-3 kart. : DM 79.00, sfr 71.90, S 576.70
Schlagwörter Silicium-Gate-Technologie ; Polykristall ; Maskentechnik ; Plasmaätzen ; Iodwasserstoff ; Plasmadiagnostik
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2000 A 12799
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2000 A 12799
Bereitstellung in Leipzig




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