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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel The influence of energetic bombardment on the structure formation of sputtered zinc oxide films : development of an atomistic growth model and its application to tailor thin film properties / vorgelegt von Dominik Köhl
Person(en) Köhl, Dominik (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2011
Umfang/Format 197 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Köhl, Dominik: The influence of energetic bombardment on the structure formation of sputtered zinc oxide films
Hochschulschrift Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Strukturbildung , Zinkoxid , Reaktives Sputtern , Sputtern , Beschichten
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2011 B 21719
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2011 B 33275
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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