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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1295714701
Titel On the interaction of a microwave excited oxygen plasma with a jet of precursor material for deposition applications
Person(en) Methling, R. (Verfasser)
Hempel, F. (Verfasser)
Baeva, M. (Verfasser)
Trautvetter, T. (Verfasser)
Baierl, H. (Verfasser)
Foest, R. (Verfasser)
Verlag Praha : Czech Technical University in Prague, Faculty of Electrical Engineering, Department of Physics
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2019
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier DOI: 10.34657/11228
URL https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/12196 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Plasma physics and technology 6 (2019), Nr. 3
Datenlieferant: Renate - Repositorium für Naturwissenschaften und Technik (TIB Hannover)
Sachgruppe(n) 530 Physik





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