Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1345012705 |
Titel | Properties of atmospheric pressure plasma oxidized layers on silicon wafers |
Person(en) |
Skácelová, Dana (Verfasser) Sládek, Petr (Verfasser) Sťahel, Pavel (Verfasser) Pawera, Lukáš (Verfasser) Haničinec, Martin (Verfasser) Meichsner, Jürgen (Verfasser) Černák, Mirko (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2410151803018.374778923431 DOI: 10.1515/chem-2015-0047 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 26.11.2014 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Open chemistry (Bd. 13, 2014, Nr. 1. 6 S.) |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
