Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1309216436 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mehrkomponenten-Targets zum Sputtern von AlCr (W, Ta, Si) N-Systemen / Alexander Fehr |
| Person(en) |
Fehr, Alexander (Verfasser) Tillmann, Wolfgang (Herausgeber) |
| Organisation(en) | Vulkan-Verlag GmbH (Verlag) |
| Verlag | Essen : Vulkan Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2023] |
| Umfang/Format | VIII, 264 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Dortmund, 2023 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8027-8832-1 Broschur : EUR 31.50 (DE), EUR 32.40 (AT) 3-8027-8832-X |
| EAN | 9783802788321 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Werkstofftechnologische Schriftenreihe ; Band 25 |
| Schlagwörter | Sputtern ; PVD-Verfahren ; Target ; Mehrstoffsystem ; Aluminiumnitrid ; Chromnitrid |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2023 AA 52991
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2024 AA 10867
Bereitstellung in Leipzig |
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