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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1270220624
Titel Fundamental Identification of Defect‐Related Electron Trap in Hf 1− x Zr x O 2 Alloy Gate Dielectric on Silicon: Oxygen Vacancy versus Hydrogen Interstitial
Person(en) Liu, Zhu-You (Verfasser)
Zhang, Cai-Xin (Verfasser)
Cao, Ruyue (Verfasser)
Cai, Xuefen (Verfasser)
Deng, Hui-Xiong (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022101315033848359357
DOI: 10.1002/pssr.202200316
URL https://doi.org/10.1002/pssr.202200316
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 13.10.2022
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Physica status solidi / Rapid research letters (13.10.2022. 6 S.)

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