Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1021195014 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors / Nils Rasmus Behnel |
| Person(en) | Behnel, Nils Rasmus (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | 147 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 221 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Behnel, Nils Rasmus: Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors |
| Hochschulschrift | Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2012 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0962-0 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 57.25 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844009620 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 22 |
| Schlagwörter | Drucksensor ; Siliciumcarbid ; MEMS ; Herstellung ; CVD-Verfahren ; Trockenätzen ; Nassätzen ; Kontaktieren |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 A 46610 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 A 64165 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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