Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1268886203 |
Titel | Scanning Electron Microscopy Dopant Contrast Imaging of Phosphorus‐Diffused Silicon |
Person(en) |
Zhang, Yu (Verfasser) Scardera, Giuseppe (Verfasser) Wang, Shaozhou (Verfasser) Abbott, Malcolm (Verfasser) Payne, David (Verfasser) Hoex, Bram (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2022092615044898102753 DOI: 10.1002/admt.202200737 |
URL | https://doi.org/10.1002/admt.202200737 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 25.09.2022 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Advanced Materials Technologies (25.09.2022. 14 S.) |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
