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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1268428892
Titel Two-Dimensional Nanograting Fabrication by Multistep Nanoimprint Lithography and Ion Beam Etching / Janek Buhl, Danbi Yoo, Markus Köpke, Martina Gerken
Person(en) Buhl, Janek (Verfasser)
Yoo, Danbi (Verfasser)
Köpke, Markus (Verfasser)
Gerken, Martina (Verfasser)
Verlag Kiel : Universitätsbibliothek Kiel
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:8:3-2022-00625-9
DOI: 10.3390/nanomanufacturing1010004
URL https://macau.uni-kiel.de/receive/macau_mods_00003054 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Nanomanufacturing(1), H. 1
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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