Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
Treffer 996 von 1817
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/993903282 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Über die dimensionelle Charakterisierung von Gitterstrukturen auf Fotomasken mit einem neuartigen DUV-Scatterometer / vorgelegt von Matthias Wurm |
| Person(en) | Wurm, Matthias (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2009] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 10,3 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wurm, Matthias: Über die dimensionelle Charakterisierung von Gitterstrukturen auf Fotomasken mit einem neuartigen DUV-Scatterometer |
| Hochschulschrift | Jena, Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:27-20090407-082812-1 |
| URL | http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-17172/Wurm/Dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Anmerkungen | Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2008 |
| DDC-Notation | 535.43 [DDC22ger]; 530.417 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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