Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
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Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations.
 
 

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Online Ressourcen
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Titel Multi-staged deposition of trench-gate oxides for power MOSFETs / Markus Neuber, Olaf Storbeck, Maik Langner, Knut Stahrenberg, Thomas Mikolajick
Person(en) Neuber, Markus (Verfasser)
Storbeck, Olaf (Verfasser)
Langner, Maik (Verfasser)
Stahrenberg, Knut (Verfasser)
Mikolajick, Thomas (Verfasser)
Verlag Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-811378
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Journal of Vacuum Science & Technology (JVST) : an AVS journal#B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena, Erscheinungsjahr: 2019, Jahrgang: 37, Heft: 3, Seiten: 032202-1-032202-4, E-ISSN: 2166-2746
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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