Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1238142079 |
Titel | Manipulation der Materialeigenschaften von atomar abgeschiedenen Oxid-Dünnschichten mit elektrischem Feld : experimentelles und computergestütztes Design / Martin Becker ; Gutachter: Marek Sierka, Silvana Botti, Bernd Meyer |
Person(en) |
Becker, Martin (Verfasser) Sierka, Marek (Gutachter) Botti, Silvana (Gutachter) Meyer, Bernd (Gutachter) |
Verlag | Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Hochschulschrift | Dissertation, Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2021 |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20210713-125814-008 DOI: 10.22032/dbt.49206 |
URL | https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00049206 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Dünne Schicht* ; Ausgangsmaterial* ; Spannungstensor* ; Atomlagenabscheidung* ; Substrat <Chemie>* ; Plasma* (*maschinell ermittelt) |
DDC-Notation | 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
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