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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1238142079
Titel Manipulation der Materialeigenschaften von atomar abgeschiedenen Oxid-Dünnschichten mit elektrischem Feld : experimentelles und computergestütztes Design / Martin Becker ; Gutachter: Marek Sierka, Silvana Botti, Bernd Meyer
Person(en) Becker, Martin (Verfasser)
Sierka, Marek (Gutachter)
Botti, Silvana (Gutachter)
Meyer, Bernd (Gutachter)
Verlag Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2021
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20210713-125814-008
DOI: 10.22032/dbt.49206
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00049206 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Dünne Schicht* ; Ausgangsmaterial* ; Spannungstensor* ; Atomlagenabscheidung* ; Substrat <Chemie>* ; Plasma* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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