Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: cod="rh"
Treffer 99875 von 345128
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1194650910 |
| Titel | Advanced Detection and Removal Method of Polymer Residues in Through Silicon Vias (TSV) / Helene Gehles ; Gutachter: Lothar Pfitzner ; Betreuer: Lothar Pfitzner |
| Person(en) |
Gehles, Helene (Verfasser) Pfitzner, Lothar (Akademischer Betreuer) Pfitzner, Lothar (Gutachter) |
| Verlag | Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2019 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2019 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-120231 |
| URL | https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/12023 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Silicon* (*maschinell ermittelt) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
Treffer 99875 von 345128
Administration
