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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1248645693
Titel Manufacturing-induced surface contaminations / Christoph Gerhard, Alexander Dobis
Person(en) Gerhard, Christoph (Verfasser)
Dobis, Alexander (Verfasser)
Verlag Wildau : Technische Hochschule Wildau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:kobv:526-opus4-15656
DOI: 10.1002/vipr.202100752
URL https://opus4.kobv.de/opus4-th-wildau/frontdoor/index/index/docId/1565 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Vakuum in Forschung und Praxis, 33, 1, S. 33-37
DDC-Notation 530.417 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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