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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Beitrag zur Mikromaterialbearbeitung mit Excimerlasern - Systemkomponenten und Verfahrensoptimierungen / Thomas Rebhan ; Gutachter: Manfred Geiger, H. W. Bergmann ; Betreuer: Manfred Geiger ; Herausgeber: Manfred Geiger, Klaus Feldmann
Person(en) Rebhan, Thomas (Verfasser)
Geiger, Manfred (Akademischer Betreuer)
Geiger, Manfred (Gutachter)
Bergmann, H. W. (Gutachter)
Geiger, Manfred (Herausgeber)
Feldmann, Klaus (Herausgeber)
Verlag Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 1996
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-144665
DOI: 10.25593/3-87525-075-3
URL https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/14466 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Fertigungstechnik - Erlangen ; 54
Schlagwörter Excimerlaser ; Materialbearbeitung ; Keramischer Werkstoff ; Mikrosystemtechnik
DDC-Notation 671.35 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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