Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Grundlagen fuer die roentgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlaengen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter / Boris Anderer, W. Ehrfeld, J. Mohr
Person(en) Anderer, Boris (Verfasser)
Ehrfeld, Wolfgang (Verfasser)
Mohr, Jürgen (Verfasser)
Verlag Karlsruhe : KIT-Bibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter
Hochschulschrift Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1989, Dissertation von Boris Anderer
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2019101511074787779641
DOI: 10.5445/IR/92089
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen KFK-4702
Schlagwörter Demultiplexer* ; Reflexion <Physik>* ; Photoresist* ; Wellenlänge* ; Beugungsgitter* (*maschinell ermittelt)

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