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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1025690311 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Analysis of high-k materials with local electrode atom probe / Sergej Mutas |
| Person(en) | Mutas, Sergej (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | XI, 90 S. : graph. Darst. ; 30 cm, 153 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Analysis of high-k materials with Local Electrode Atom Probe |
| Hochschulschrift | Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2012 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-1340-5 Pp. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 57.25 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844013405 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Schlagwörter | High-k-Dielektrikum ; Atomsonde |
| DDC-Notation | 537.24 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 B 26548 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 B 33725 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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