Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1289760756 |
Titel | Atomic Layer Deposition of Gadolinium Aluminate using Gd (i PrCp) 3, TMA, and O 3 or H 2 O † |
Person(en) |
Adelmann, Christoph (Verfasser) Pierreux, Dieter (Verfasser) Swerts, Johan (Verfasser) Dewulf, Daan (Verfasser) Hardy, An (Verfasser) Tielens, Hilde (Verfasser) Franquet, Alexis (Verfasser) Brijs, Bert (Verfasser) Moussa, Alain (Verfasser) Conard, Thierry (Verfasser) Van Bael, Marlies K. (Verfasser) Maes, Jan W. (Verfasser) Jurczak, Malgorzata (Verfasser) Kittl, Jorge A. (Verfasser) Van Elshocht, Sven (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023051805085894052705 DOI: 10.1002/cvde.200906833 |
URL | https://doi.org/10.1002/cvde.200906833 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 22.06.2010 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Chemical vapor deposition (Bd. 16, 2010, Nr. 4‐6: 170-178. 9 S.) |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
