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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen / von Ursula Telgheder
Person(en) Telgheder, Ursula (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format 128 Bl. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Telgheder, Ursula: Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen
Hochschulschrift Duisburg, Essen, Univ., Habil.-Schr., 2005 (Nicht für den Austausch)
Schlagwörter Halbleitertechnologie ; Gasphasenreaktion ; Gasanalyse ; Spurenelement ; Atomabsorptionsspektroskopie
Halbleitertechnologie ; Gasphasenreaktion ; Gasanalyse ; Spurenelement ; Atomemissionsspektroskopie
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 540 Chemie

Frankfurt Signatur: 2005 B 28477
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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Leipzig Signatur: 2005 B 27539
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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