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Titel Entwicklung und Charakterisierung von nanostrukturierten thermischen MEMS-Flusssensoren / Sven Ebschke ; Gutachter: Jürgen Oehm ; Betreuer: Horst L. Fiedler
Person(en) Ebschke, Sven (Verfasser)
Fiedler, Horst L. (Akademischer Betreuer)
Oehm, Jürgen (Gutachter)
Verlag Dortmund : Universitätsbibliothek Dortmund
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Dortmund, Technische Universität, 2021
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021061803423648066348
Handle: 2003/40244
URL http://hdl.handle.net/2003/40244 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Durchflusssensor ; Mikrosensor ; Drucksensor ; Temperatursensor ; Nanometerbereich ; Geräteentwicklung ; Mikrofluidik ; MEMS
DDC-Notation 681.28 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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