Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/4009846-1 |
Sachbegriff | CVD-Verfahren |
Quelle | B 1986 |
Synonyme |
Chemical vapor deposition Chemische Dampfablagerung CVD Chemische Gasphasenabscheidung |
Oberbegriffe | Aufdampfen |
Thematischer Bezug | Verwandter Begriff: Gasphasenepitaxie |
DDC-Notation | 671.735 |
Systematik | 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik |
Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
Andere Normdaten |
LCSH: Chemical vapor deposition RAMEAU: Dépôt chimique en phase vapeur |
Untergeordnet |
11 Datensätze
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Thema in |
382 Publikationen
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Maschinell verknüpft mit |
71 Publikationen
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