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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Herstellung und Charakterisierung aufgedampfter heteroepitaktischer Siliziumschichten zur Einschätzung des Doppelinjektionsschaltens in dünnen Halbleiterschichten
Person(en) Ecke, Wolfgang (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1980
Umfang/Format 85 Bl. : 49 Ill. u. graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Ilmenau, Techn. Hochsch., Diss., 1981
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Siliziumschicht / aufgedampfte heteroepitakt. ̃ u. Doppelinjektionsschalten ; Halbleiter / aufgedampfte heteroepitakt. Siliziumschichten u. Doppelinjektionsverhalten
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 82b/5017
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: Di 1981 B 5667
Bereitstellung in Leipzig




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