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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Störungssystematikbestimmte Instandhaltung in einem Wafertransportsystem / Torsten Niekisch
Person(en) Niekisch, Torsten (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format ca. 1,1 MB
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Diss., 2001
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:14-1008196556562-32167
URL http://hsss.slub-dresden.de/pub2/dissertation/2002/maschinenwesen/1008196556562-3216/1008196556562-3216.pdf
http://hsss.slub-dresden.de/hsss/servlet/hsss.urlmapping.MappingServlet?id=1008196556562-3216 (Verlag)
Schlagwörter Infineon Technologies AG ; Wafer ; Transportsystem ; Schwachstellenanalyse ; Instandhaltung ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik

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