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Titel Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie / von Ingo Busch
Person(en) Busch, Ingo (Verfasser)
Umfang/Format 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie
Hochschulschrift Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2004 (Nicht für den Austausch)
Schlagwörter Reflektometrie ; Röntgenstrahlung ; Dickenmessung ; Dünnschichttechnik ; Nanometerbereich
Röntgenstreuung ; Diffuse Streuung ; Mehrschichtsystem ; Grenzfläche ; Oberflächenanalyse ; Nanometerbereich
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Zugehörige Bände 2 Publikationen
  1. Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie / Anh. Programmlisting der Simulation DiffXRR
    2004
  2. Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie / [Hauptbd.]
    (2004)





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