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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/102829462X
Titel Mechanical Microsensors
Person(en) Elwenspoek, Miko (Verfasser)
Wiegerink, Remco J. (Verfasser)
Verlag Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Elwenspoek, Miko: Mechanical microsensors
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-20121128627
DOI: 10.1007/978-3-662-04321-9
URL https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-662-04321-9 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-662-04321-9
EAN 9783662043219
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Mikrosensor ; Siliciumsensor ; Mikromechanik ; Halbleitertechnologie
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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