Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/941044459 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Oberflächenanalyse von Si-Wafern mit der Flugzeit-SIMS / vorgelegt von Ulrich Jürgens |
| Person(en) | Jürgens, Ulrich (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1993 |
| Umfang/Format | II, 120 S. : Ill., graph. Darst. ; 25 cm |
| Hochschulschrift | Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1993 (Beschränkt für den Ausstausch) |
| Schlagwörter | Siliciumhalbleiter ; Wafer ; Sekundärionen-Massenspektrometrie |
| Sachgruppe(n) | 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: H 1994 A 7960
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: H 1994 A 7960
Bereitstellung in Leipzig |
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