Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Online Ressourcen
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung von siliziumbasierten Mikro-Schaltern zur Realisierung von reproduzierbaren Array-Verschaltungen : development of silicon-based micro-switches for the realization of reproducible array interconnections / Markus Schwarz
Person(en) Schwarz, Markus (Verfasser)
Verlag Saarbrücken : Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Saarbrücken, Universität des Saarlandes, 2021
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:291--ds-342169
DOI: 10.22028/D291-34216
URL https://publikationen.sulb.uni-saarland.de/handle/20.500.11880/31735 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter MEMS ; SOI-Technik ; Mikroschalter
SOI-Technik* ; Schalter* ; Array* ; Wafer* ; Mikroschaltung* ; MEMS* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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