Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
Neuigkeiten Vom 10. September 2025, 13 Uhr, bis 11. September 2025, 22 Uhr, kann es zu Einschränkungen bei der Bereitstellung von Medienwerken kommen. Wir informieren Sie per E-Mail über den aktuellen Stand Ihrer Bestellungen. // From 13:00 on 10 September 2025 until 22:00 on 11 September 2025, there may be restrictions on the provision of media works. We will inform you by email about the current status of your orders.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung von siliziumbasierten Mikro-Schaltern zur Realisierung von reproduzierbaren Array-Verschaltungen : development of silicon-based micro-switches for the realization of reproducible array interconnections / Markus Schwarz
Person(en) Schwarz, Markus (Verfasser)
Verlag Saarbrücken : Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Saarbrücken, Universität des Saarlandes, 2021
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:291--ds-342169
DOI: 10.22028/D291-34216
URL https://publikationen.sulb.uni-saarland.de/handle/20.500.11880/31735 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter MEMS ; SOI-Technik ; Mikroschalter
SOI-Technik* ; Schalter* ; Array* ; Wafer* ; Mikroschaltung* ; MEMS* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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