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Titel Zuverlässige Prozesse durch Vakuumkomponenten mit definierten Ausgasraten : Purity und Vacuum Classes kategorisieren die Oberflächensauberkeit von Vakuumbauteilen und ‐kammern
Person(en) Worsch, Christian (Verfasser)
Flämmich, Michael (Verfasser)
Bergner, Ute (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022091007594744538279
DOI: 10.1002/vipr.201800691
URL https://doi.org/10.1002/vipr.201800691
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 30.08.2018
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Enthalten in: Vakuum in Forschung und Praxis (Bd. 30, 2018, Nr. 4: 15-19. 5 S.)

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