Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Ute" and "Bergner"
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1267770147 |
Titel | Zuverlässige Prozesse durch Vakuumkomponenten mit definierten Ausgasraten : Purity und Vacuum Classes kategorisieren die Oberflächensauberkeit von Vakuumbauteilen und ‐kammern |
Person(en) |
Worsch, Christian (Verfasser) Flämmich, Michael (Verfasser) Bergner, Ute (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2022091007594744538279 DOI: 10.1002/vipr.201800691 |
URL | https://doi.org/10.1002/vipr.201800691 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 30.08.2018 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Beziehungen | Enthalten in: Vakuum in Forschung und Praxis (Bd. 30, 2018, Nr. 4: 15-19. 5 S.) |
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