Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1077692838 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Spektroskopische Untersuchung und Modellierung von mikrowellen-angeregten Silanplasmen / Ursel Fantz |
| Person(en) | Fantz, Ursel (Verfasser) |
| Verlag | Augsburg : Universität Augsburg |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Stuttgart, Univ., Diss., 1995 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:384-opus4-4633 |
| URL | http://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/579 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Silane ; Plasma ; ECR-Heizung ; Plasmadiagnostik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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