Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Titel Formation techniques for upper active channel in monolithic 3D integration: an overview / by An Hoang-Thuy Nguyen, Manh-Cuong Nguyen, Anh-Duy Nguyen, Seung Joon Jeon, Noh-Hwal Park, Jeong-Hwan Lee, Rino Choi
Person(en) Nguyen, An Hoang-Thuy (Verfasser)
Nguyen, Manh-Cuong (Verfasser)
Nguyen, Anh-Duy (Verfasser)
Jeon, Seung Joon (Verfasser)
Park, Noh-Hwal (Verfasser)
Lee, Jeong-Hwan (Verfasser)
Choi, Rino (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format 1 Online-Ressource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024040912165089884036
DOI: 10.1186/s40580-023-00411-4
URL https://doi.org/10.1186/s40580-023-00411-4
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2024
DDC-Notation 621.381 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Nano Convergence (Bd. 11, 29.1.2024, Nr. 1, date:12.2024: 1-15)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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