Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1058495658 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Nanostrukturierter CMOS-kompatibler Drucksensor / Remigius Poloczek |
| Person(en) | Poloczek, Remigius (Verfasser) |
| Verlag | Münster : Theophano-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | XIII, 125 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm, 456 g |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 2014 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-9815495-2-2 kart. : EUR 29.90 (DE), EUR 30.80 (AT), sfr 40.90 (freier Pr.) |
| EAN | 9783981549522 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Drucksensor ; MEMS ; Herstellung ; Nanotechnologie ; SOI-Technik ; Elektromechanischer Wandler ; Transistor ; CMOS |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2014 A 76701
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2014 A 82113
Bereitstellung in Leipzig |
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