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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Eine Nanopositioniervorrichtung mit integrierten piezoresistiven Sensoren für Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Anwendungen / Elshad Guliyev
Person(en) Guliyev, Elshad (Verfasser)
Verlag Ilmenau : Univ.-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format XII, 117 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm, 250 g
Hochschulschrift Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2011
ISBN/Einband/Preis 978-3-86360-033-4 kart. : EUR 17.50 (DE), EUR 18.00 (AT)
EAN 9783863600334
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Positionierantrieb ; Nanometerbereich ; Integrierter Sensor ; Piezowiderstandseffekt ; Rastersondenmikroskopie ; Zeitauflösung ; Hochgeschwindigkeit
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]; 681.413 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis
Inhaltstext

Frankfurt Signatur: 2013 A 7406
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2013 A 757
Bereitstellung in Leipzig




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