Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1017778582 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators / Xin Xu |
| Person(en) | Xu, Xin (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | V, 98 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 156 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Xu, Xin: Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators |
| Hochschulschrift | Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0590-5 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844005905 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
| Schlagwörter | MEMS ; Mikroaktor ; Elektrolinearmotor ; Mikrosensor ; Magnetfeldsensor ; Positionierung ; Messsystem ; Mikrofertigung ; Ferromagnetische Schicht ; Hysteresekurve |
| DDC-Notation | 621.3815 [DDC22ger]; 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 A 4927 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2011 A 105312 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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